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電子級超純水中國國家標準(GB/T11446.1-1997)
發布時間:2017-09-12 15:26:35 閱讀次數:2592
目 級別 | 比電阻 MΩ.cm@25℃ | 矽 ≤ μg/L | >1μm 微粒數 < 個/ml | 細菌 個數 < 個/ml | 銅 ≤ μg/L | 鋅 ≤ μg/L | 鎳 ≤ μg/L | 鈉 ≤ μg/L | 鉀 ≤ μg/L | 氧 ≤ μg/L | 硝酸根 ≤ μg/L | 磷酸根 ≤ μg/L | 硫酸根 ≤ μg/L | 總有 機碳 ≤ μg/L |
EW-Ⅰ | 18(95%的時間不低於17) | 2 | 0.1 | 0.001 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 20 |
EW-Ⅱ | 15(95%的時間不低於13) | 10 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 | 100 |
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